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含氟電子特氣--八氟環丁烷

發布日期：2024-06-20 12:52

八氟環丁烷作為芯片工業生產環節用到的重要的一種電子特氣，隨著我國半導體產業規模不斷擴大制程升級，對電子級八氟環丁烷的需求量也不斷增加，要求越來越嚴格。

 

八氟環丁烷（Octafluorocyclobutane，又稱全氟環丁烷，簡稱C-318）是美國杜邦公司于20世紀50年代開發的一種特種含氟氣體。在常溫下，八氟環丁烷是一種無色、無味、不可燃的氣體。 在通常條件下，八氟環丁烷性質穩定，在高溫、高能量或有金屬催化的條件下，八氟環丁烷會分解成氟碳化合物。

 

由于八氟環丁烷無毒且ODP為零，常代替CFCs被用作混合制冷劑，以減少對大氣臭氧層的破壞。八氟環丁烷的溫室效應指數是六氟化硫的1/3，并且八氟環丁烷氣體在均勻電場下的絕緣強度是六氟化硫氣體的1.11~1.80倍，因此，八氟環丁烷氣體也代替六氟化硫用作高壓電器設備中的絕緣介質。

 

八氟環丁烷溫度區間寬泛，也被用作熱泵工作流體。另外，八氟環丁烷也被用于大規模集成電路的蝕刻劑以及光纖領域的清洗劑。 近些年，我國半導體產業規模不斷擴大，對電子級八氟環丁烷的需求量也不斷增加，隨著芯片制程尺寸的不斷減小，對八氟環丁烷的純度要求也越來越嚴苛，純度達到5N級以上才能滿足芯片生產要求.

 

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